גלאי אוזון הם מכשירים המבוססים על עקרון הספיגה האולטרה סגולה. הם מחשבים את ריכוז האוזון בהתבסס על חוק למברט-בבירה על ידי שימוש בבליעה האופיינית של אור אולטרה סגול של 253.7 ננומטר על ידי אוזון. מרכיבי הליבה כוללים מקור אור אולטרה סגול, מסנן אור, חיישן פוטואלקטרי ומודול עיבוד אותות. המערכת מאמצת עיצוב -אופטי- כפול לזיהוי נתיב כדי לשפר את הדיוק.
המכשיר זמין בסוגים שונים, כולל ניטור מקוון נייד, קבוע ודיוק גבוה-. מכשירים ניידים תומכים באחסון נתונים-בזמן אמת ובפונקציות אזעקה קוליות וחזותיות; מכשירים קבועים מצוידים בטכנולוגיית פיצוי לחץ ו-אנטי הפרעות, המתאימים לניטור רציף בצינורות תעשייתיים ובתרחישים אחרים. תחומי היישום כוללים בתי מלאכה למחוללי אוזון, טיפול במים, תעשיות כימיות ותרופות, ובטיחות תעשייתית, עם טווח זיהוי מרבי של עד 300 O3 גרם/מ"ר. הציוד עומד בתקני הסמכה של-פיצוץ ותומך בפלט אנלוגי של 0/4-20mA להשגת שליטה בלולאה סגורה.
